테스, 반도체 장비 관련 박막증착장치 특허권 취득

[뉴스토마토 신송희 기자] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 박막증착장치 관련 특허권을 취득했다고 17일 공시했다. 특허에 따르면 박막증착장치는 공정가스의 양을 조절해 박막의 두께를 다르게 조절하는 것이 가능하고 두께가 불균일한 경우에는 박막 두께의 불균일을 치유해 박막의 품질을 향상시킬 수 있다.

 

회사 측은 "특허와 관련된 기술을 반도체 장비에 적용하고 R&D 활동에도 응용해 제품경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 말했다. 

 

신송희 기자 [e-mail]