테스, 박막증착장치 특허 취득

[뉴스토마토 정기종기자] 테스(095610)는 반도체 원자층증착 장비에 적용되는 박막증착장치에 대한 특허를 취득했다고 19일 공시했다. 해당 기술은 박막증착장치에서 둘 이상의 박막을 증착할 수 있게 돼 증착시간을 현저히 줄일 수 있다.

 

회사 측은 "향후 신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력 강화에 사용할 것"이라고 전했다.