SMEC, 업그레이드된 반도체 키세트 이송장비 특허 취득

[뉴스토마토 김세연기자]  SMEC(099440)은 18일 반도체 카세트 이송장비와 관련된 특허를 취득했다고 밝혔다.

 

특허를 취득한 더블암식 3단 카세트 이송 로봇은 클린룸 환경에서 반도체 웨이퍼, 액정표시장치(LCD) 글라스, 솔라셀 등을 이송하는 장비다.

 

SMEC은 이미 지난해 11월 기존 장비들이 지상에 부착돼 공간을 차지한다는 점에 착안해 천장에 부착돼 업무를 수행하는 더블암식 2단 카세트 이송로봇을 개발한 바 있다.

 

이번 특허는 기존 기술을 한단계 업그레이드한 것으로 로봇 몸체가 3단으로 접히도록 설계해 로봇의 움직임을 보다 자유롭게 한 것이 특징이다.

 

SMEC 관계자는 "클린로봇은 당사가 지속적으로 매출이 일어나는 분야이며 본 발명은 해당 분야의 업그레이된 기술"이라며 "기술을 한 번 개발하고 끝내는 것이 아니라 지속적인 보완하고 발전과정을 거침으로써 더 완성도 높은 SMEC만의 기술이 되는 것이고 기술 개발이 결국 회사 미래 성장엔진의 가장 큰 역할을 하게 될 것"이라고 꾸준한 기술 개발에 대한 의지를 밝혔다.

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