[뉴스토마토 김진양기자]
원익IPS(030530)는 플라즈마 처리 장치 및 방법에 관한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.
회사측은 특허의 주요 내용에 대해 "반도체 처리 챔버 외부에 별도의 플라즈마 발생원을 이용하지 않고 가스를 활성할 수 있는 장치 및 방법"이라며 "향후 생산성을 높이기 위해 당사 반도체 장비에 적용할 예정"이라고 밝혔다.
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