[뉴스토마토 명정선기자] # 테스는 가스분사장치 관련 특허권을 취득했다고 1일 공시했다.
본 특허는 가스분사플레이트가 상하방향으로 열변형 되지 않고 가스분사플레이트와 기판 사이의 간격이 일정하게 유지돼 박막의 증착균일도가 보장될 수 있다.
또 영구자석이나 결합부재가 가스나 플라즈마에 의해 부식되는 것을 방지할 수 있다.
테스는 "장비제조시 특허 기술을 적용해 제품 경쟁력을 강화하겠다"고 밝혔다.
뉴스토마토 명정선 기자 cecilia1023@etomato.com
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