테스, 플라즈마 제어 처리장치 특허권 취득

2011-10-04 13:57:55 ㅣ 2011-10-04 13:57:55

[뉴스토마토 황인표기자] 테스(095610)는 표면조도를 이용한 플라즈마 제어가 가능한 기판처리장치 관련 특허권을 취득했다고 4일 공시했다

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