테스, 공정 챔버 슬릿 개폐장치 특허 취득

2011-09-30 11:07:28 ㅣ 2011-09-30 11:08:18

[뉴스토마토 안후중기자] 테스(095610)는 장비 제조시 공정 챔버 내부의 온도를 전체적으로 균일하게 유지할 수 있는 슬릿 개폐장치 특허를 취득했다고 30일 공시했다.

이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 김기성 편집국장이 최종 확인·수정했습니다.

관련기사

안후중

뉴스북

이 기자의 최신글

0/300

댓글 0