[뉴스토마토 이준혁기자]
에스엔유(080000)프리시젼은 '결함 발생 위치 분석 및 결함 발생 회피를 위한 작업 스케줄링 방법' 특허를 취득했다고 27일 공시했다.
이 특허는 작업 순서에 따라 챔버에 각각 제공되는 기판의 결함을 검토하고 결함 발생을 판단해 기판의 결함 발생 빈도를 최소화할 수 있는 방법이다.
회사 측은 이 특허를 디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획이라고 밝혔다.
이준혁 기자 leejh@etomato.com
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