3S, 질소 이용한 '공기 배기 특허권' 취득

[뉴스토마토 이지영기자] 3S(060310)는 질소를 통한 공기 배기와 관련된 특허권을 취득했다고 24일 밝혔다.

 

이 특허를 이용한 제품은 반도체업체 공정 내에서 사용되는 웨이퍼 캐리어인 FOUP이며 현재 국내 반도체업체의 품질테스트가 진행 중이다.

 

3S 관계자는“반도체 생산 공정에서 가장 중요한 수율 문제를 효과적으로 조절할 수 있어 질소를 통한 내부 공기 배기하는 방법이 기존 외국 제품들에 비해 빠르고 효과적이라는 테스트 결과가 나왔다”면서 “현재 진행중인 업체 품질테스트가 끝나면 곧바로 매출 발생으로 이어질 것”이라고 말했다.

 

 

이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 김기성 편집국장이 최종 확인·수정했습니다.