원익IPS, 박막 증착 방법 특허권 취득

2013-03-07 13:50:10 ㅣ 2013-03-07 13:52:29

[뉴스토마토 조아름기자] 원익IPS(030530)는 박막 증착 방법에 관한 국내 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

이 기술은 ALD 방식보다 증착 속도가 향상된 싸이클릭-CVD 방식의 TiAlN 증착 방법에 관한 것이다. 원익IPS는 "해당 기술을 반도체 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.