테스, 박막 증착장치 관련 특허

[뉴스토마토 이지영기자] 테스(095610)는 박막 증착장치와 관련한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.

 

회사 측은 "이번 특허는 기판 표면에 증착이 균일하게 이루어지도록 하며 리모트플라즈마 방식으로 제공하여 기판의 손상을 방지하면서 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있다"고 밝혔다.

 

 

이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 김기성 편집국장이 최종 확인·수정했습니다.