테스, 유기금속화학 증착반응기 관련 특허 취득

[뉴스토마토 김세연기자] 테스(095610)는 22일 유기금속화학 증착 반응기와 관련한 특허를 취득했다고 공시했다.

 

이번 특허는 가스를 반응기 몸체의 측부에서 중앙부를 향해 가이드하는 가스 가이드 부재를 포함해 균일한 막질을 형성하는 것이다.

 

회사측은 이후 장비 제조시 특허기술을 적용해 제품 경쟁력을 강화할 계획이라고 밝혔다.

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