로체시스템즈, 웨이퍼 식각방법 특허권 취득

[뉴스토마토 이효정기자] 로체시스템즈(071280)는 웨이퍼 식각장치 및 이를 이용한 웨이퍼 식각방법에 대한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.

 

회사 측은 개발중인 반도체 후공정용 WAFER 가공장비에 적용할 예정이라고 설명했다.

 

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