테스, 기판처리장치에 관한 특허권 취득

[뉴스토마토 염현석기자] 테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.

 

회사측은 이번 특허에 대해 챔버로 공급되는 가스 흐름의 선형성이 유지되므로 처리되는 기판의 품질이 향상되는 장점이 있어 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력을 강화하겠다고 설명했다.

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