테스, 국내 첫 반도체 세정장비 양산 성공

[뉴스토마토 김세연기자] 반도체·태양전지 장비업체 테스(095610)는 국내 최초로 반도체 세정장비 양산에 성공해 반도체 전공정의 포트폴리오 다변화에 나선다고 25일 밝혔다. 

 

국내에선 처음 양산에 성공한 세정장비(모델명 : Spinel300)는 12인치 웨이퍼에서 포토 레지스트(PR)와 막질(Film)을 제거시키는데 사용된다.

 

특히 일부공정의 경우 시간감소를 통해 제조비용을 절감시킬 수 있는 장점이 있으며, 증착(Deposition)전후과 애싱(Ashing)후의 세정도 가능해 양산공정 적용시 높은 효율성도 제공할 수 있게됐다.

 

테스측은 "세정장비의 양산성공으로 반도체 전공정 핵심공정인 증착(CVD), 식각(ETCH)에서 세정(Cleaning)장비 시장까지 제품 포트폴리오 확대를 통한 다각화에 성공했다"며 "기술경쟁력이 핵심인 반도체 전공정 장비분야에서 새로운 성장동력을 강화하는 전기를 마련했다"고 설명했다.

 

주숭일 테스 대표는 "세정장비를 포함 2분기에만 반도체 신규장비 3종류가 양산 개시될 것"이라며 "제품 다변화를 통한 성장동력 강화는 지속하고 향후 반도체 장비의 주력매출이 기존 가스에칭장비(HF Dry Etcher)기능을 수행하면서 다른 공정을 동시에 수행할 수 있는 하이브리드 형태의 트리트먼트와 클리닝 장비로 변화될 것"이라고 밝혔다.

 

한편, 이번 신규장비는 SK하이닉스(000660)와의 상생협력 기술교류 협약에도 선정된 바 있다.