주성엔지니어링, 챔버 세정방법 특허 취득

[뉴스토마토 손지연기자] 주성엔지니어링(036930)은 원격 플라즈마를 이용한 챔버 세정방법에 대한 특허를 취득했다고 17일 공시했다.

 

이번 특허는 제조장비가 커지더라도 챔버 내부를 효과적으로 세정할 수 있게 해주는 기술에 관한 것이다.

 

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