테스, 기판처리방법 관련 특허 취득

[뉴스토마토 박진아기자] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 기판처리방법 관련 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.

 

회사 측은 "공정시간과 기판의 회전속도가 가변되더라도 기판의 회전속도를 제어해 기판의 전체 영역에서 균일한 공정처리가 이루어질 수 있는 효과를 얻을 수 있다"고 설명했다.