테스, 기판처리장치 관련 특허 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2012-12-05 12:39:52 ㅣ 2012-12-05 12:41:47 [뉴스토마토 정해훈기자] 테스(095610)는 모든 기판을 균일하게 처리할 수 있는 기판처리장치와 관련한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다. 회사 측은 "열에 의해 분해된 가스가 재결합돼 챔버 내에 파우더 형태로 잔존하는 것이 방지된다"며 "또 가열 램프의 온·오프에 의해 챔버 내의 분위기가 급변되는 것이 방지된다"고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 테스, 히터 레벨링 장치 특허권 취득 (장마감후종목뉴스)거래소, 삼환기업에 경영진 피소설 조회공시 요구 (장마감후종목뉴스)거래소, 삼환기업에 경영진 피소설 조회공시 요구 (장마감후종목뉴스)거래소, 삼환기업에 경영진 피소설 조회공시 요구 정해훈 뉴스북 이 기자의 최신글 세계성장률 상향 조정했지만…한국은 '중국발 살얼음판' 아프리카돼지열병 올해만 9건…추석 비상 방역에 '총력' (인사)환경부 '세제 개편' 낙관에 '기금' 궁여지책 인기뉴스 (정기여론조사)①국민 25%만 "남은 3년 기대"…윤, 최우선 과제는 "김건희 의혹 정리"(종합) 미 백악관 "이스라엘·하마스 휴전 협상 재개…입장차 좁혀야" "암보험 가입도 빠르게" 초간단 가입 경쟁 (정기여론조사)④하이브 사태…33.6% "민희진 주장 공감" 대 24.6% "하이브 주장 공감" 이 시간 주요뉴스 '회당 1.4억' 민생토론회 부메랑…민주, 국정조사 추진 '친윤' 배현진 '녹취록' 폭로…코너 몰린 '찐윤' 이철규 차기 국회의장 4파전…관전 포인트 '셋' 신세계 1분기 영업익 1630억…전년비 7%↑ 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기