테스, 기판 처리 장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 원나래기자] 테스(095610)는 기판 처리 장치 관련 특허를 취득했다고 25일 공시했다. 회사 측은 "이번 특허로 기판 상에 형성되는 박막의 막밀도 및 내식각성이 향상될 것"이라고 설명했다.

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