에스엔유, 기판처리장치·스퍼터링 장치 특허권 취득

[뉴스토마토 곽보연기자] 에스엔유(080000)는 기판처리장치와 스퍼터링 장치 관련 특허권을 각각 취득했다고 13일 공시했다.

 

에스엔유는 "기판처리장치란 분진 또는 파티클에 의해 기구 오염을 방지할 수 있는 처리장치"라며 "앞으로 OLED와 태양광 제조장비를 만들 때 활용할 계획"이라고 밝혔다.

 

또 "스퍼터링 장치는 챔버내에 플라즈마를 형성해 물질을 기판에 증착시키는 장치로 이번 특허는 가스 유동환경을 원활하게 개선했다"며 "이 역시 OLED 제조장비를 만들 때 활용될 것"이라고 설명했다.

 

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