[뉴스토마토 한형주기자]
주성엔지니어링(036930)은 로드락 장치와 이를 설치한 로드락 챔버와 관련해 대만과 중국특허를 취득했다고 10일 공시했다.
이 발명은 로드락 장치에서 기판의 이송속도 한계를 향상시킨 로드락 장치와 이를 설치한 로드락 챔버에 관한 특허다.
주성엔지니어링 관계자는 "이 특허를 반도체, 평판디스플레이(FPD), 태양광사업 경쟁력 강화에 활용할 것"이라고 말했다.
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