테스, 기판처리장치 특허권 취득

[뉴스토마토 임정혁기자] 테스(095610)는 '기판 처리 장치' 특허권을 취득했다고 20일 공시했다. 회사는 "반도체 장비에 적용되는 기술"이라며 "로봇의 직선 운동 과정에서 발생하는 흔들림에 따라 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있다"고 설명했다.

 

임정혁 기자 [e-mail]

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