원익QnC(074600)는 다층 구조의자외선 반사막을 갖는 엑시머 램프와 제작 방법에 대한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.
회사 측은 "진공 자외선 및 오전의 작용에 의해 피처리체를 처리하는 기술을 필요로 하는 공정에 적용 중인 엑시머 램프의 신뢰성을 높일 수 있을 것으로 기대한다"고 설명했다.
한승수 기자 hanss@etomato.com
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