피에스케이, 기판처리장치 특허취득 공유하기 X 카카오톡 페이스북 트위터 복사하기 2008-05-14 12:22:34 ㅣ 2011-06-15 18:56:52 피에스케이는 복수의 반도체 기판을 동시에 처리하는 장치에 대해 특허를 취득했다고 14일 공시했다. 뉴스토마토 양성희 기자(sinbish@etomato.com) 이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 강진규 온라인뉴스부장이 최종 확인·수정했습니다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 양성희 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스