참엔지니어링, 마스크 리페어 장치 특허권 취득

[뉴스토마토 강은혜기자] 참엔지니어링(009310)은 23일 마스크 리페어 장치와 관련해 특허권을 취득했다고 밝혔다.

 

회사 측은 패턴이 형성돼 있는 반도체 또는 평판 디스플레이 제조용 마스크 상의 이물질을 레이저로 조사하고, 4개의 동작축을 갖는 니들(needle)을 이용, 잔류 물질을 파내서(digging) 제거하는 장치 관련 특허라고 설명했다.

 

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