테스, 기판처리장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 이나연기자] 테스(095610)는 기판처리장치 관련 특허를 취득했다고 31일 공시했다.

 

회사측은 "이번 발명에 따른 기판처리장치가 적용된 식각장치에서는 식각공정중에 기판이 일정한 온도로 유지될 수 있어 공정이 효과적으로 수행된다는 이점이 있다"고 설명했다.

 

 뉴스토마토 이나연 기자 [e-mail]

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