하이닉스 직원이 이천 M10 300mm 팹에서 국내 PSK의 전공정 장비인 'ZIVIS II'의 성능을 평가하고 있다.
[뉴스토마토 손정협기자] 하이닉스반도체는 오는 10월부터 산학연 연계 상생협력 프로그램인 ‘성능평가 협력사업’의 4차 사업을 시작한다고 29일 밝혔다.
상생협력 프로그램은 지난 2006년부터 지식경제부와 반도체 및 디스플레이 소자 업체들이 참여한 대기업과 중소 기업간 상생협력 활동이다. 양산 장비를 검증해 주는 ‘성능평가 협력사업’과 협력사에게 자금을 지원해 주는 ‘상생보증펀드’, 협력사의 연구개발을 지원하는 ‘원천기술 상용화’ 사업으로 구성돼 있다.
하이닉스는 국내 장비·재료 업체들의 해외 시장 진출을 돕기 위해 2007년부터 성능평가 협력사업에 참여해 왔다.
1차에서 3차에 걸친 협력사업 운영을 통해 소자 업체로는 가장 많은 45개의 품목을 추진해 43개 품목의 평가를 완료했으며, 총 2931억 원의 장비·재료 제품 실제 구매로 연결시켰다.
하이닉스는 이번 4차 사업을 통해 ▲유진테크의 증착 장비인 플라즈마 도핑(Plasma Doping) 등 4개사 4개 장비 ▲테크노세미켐의 슬러리(Cu CMP Slurry) 등 4개사 4개 재료에 참여한다. 이번 달 말까지 협약서를 체결하고 10월부터 2010년 3월까지 성능평가를 진행할 예정이다.
뉴스토마토 손정협 기자 sjh90@etomato.com
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