오성엘에스티, 와이어쏘 장치 특허 취득
2011-07-08 12:35:57 2011-07-08 12:35:57
[뉴스토마토 이나연기자] 오성엘에스티(052420)는 8일 와이어쏘 장치의 워크플레이트 이송유닛 관련 특허를 취득했다고 공시했다.
 
이는 와이어쏘에 의해 웨이퍼로 절단되는 잉곳의 안정적인 이송을 담보할 수 있는 와이어쏘 장치의 워크플레이트 이송유닛에 관한 것이다.
 
 
 뉴스토마토 이나연 기자 whitelee@etomato.com

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