[뉴스토마토 김소연기자]
원익IPS(030530)는 반도체 제조 장치 내부의 웨이퍼 이송 시 중심점을 맞추기 위한 방법에 대한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.
회사 측은 이번 특허를 향후 생산성을 높이기 위해 자사 장비에 적용할 예정이라고 밝혔다.
뉴스토마토 김소연 기자 nicksy@etomato.com
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