에스엔유, 디스플레이 제조장비 특허 취즉

에스엔유(080000)는 5일 원자층 증착장치(Atomic layer Deposition)와 관련 특허권을 취득했다고 이날 공시했다.

 

이 장치는 기판이 각 증착소스에 노출되는 시간을 조절해 기판의 양방향 이송이 가능하도록 설계됐다. 에스엔유는 이 특허를 디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획이다.

 

김형석 기자 [e-mail]