테스, 실리콘 산화막의 건식 식각 방법 특허

[뉴스토마토 김보선기자] 테스(095610)는 '실리콘 산화막의 건식 식각 방법' 특허권을 취득했다고 3일 공시했다.

 

회사측은 "기판상에 파티클이 형성되는 것을 방지하고, 식각 효율성을 높여 공정 비용을 절감할 수 있다"고 밝혔다.