원익IPS, 하부주입 RPG 세정용 공정 챔버 특허

[뉴스토마토 김보선기자] 원익IPS(030530)는 '하부주입 RPG 세정용 공정 챔버' 특허권을 취득했다고 3일 공시했다.

 

이 특허는 공정 챔버 하부를 세정하기 위해 별도의 세정가스 분사부를 갖는 공정 챔버에 관한 것으로, 회사측은 이를 반도체 장비에 적용할 예정이다.