싸이맥스, 로드포트 정렬 측정장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 강명연 기자] 싸이맥스(160980)는 로드포트 정렬 측정장치 관련 특허권을 취득했다고 5일 공시했다. 회사 측은 "웨이퍼나 반도체로 일컬어지는 기판 제조 공정에서 기판의 반송에 사용되는 로드포트에서 구동 상의 정렬을 측정할 수 있는 기술로, 특허기술을 적용해 제품 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.

 

강명연 기자 [e-mail]