위지트, 서셉터 표면 처리법 관련 특허권 취득

[뉴스토마토 김보선 기자] 위지트(036090)는 액정표시장치(LCD) CVD 챔버 내부에 설치되는 서셉터 표면 처리방법에 관한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다. 

 

위지트는 "이 특허 기술을 적용한 제품은 표면 조도가 높게 형성되며, 공정 중 기판의 온도 균일성이 향상된다"며 "또 서셉터와 기판의 접촉면적을 줄여 양자간의 정전력이 줄어든다"고 설명했다. 

 

김보선 기자 [e-mail]