테스, OLED 박막증착장치 특허권 취득

[뉴스토마토 강명연기자] 테스(095610)는 디스플레이(OLED) 장비에 적용되는 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다. 해당 특허를 활용하면 공정수행 시 공정가스로 인해 챔버 내부 증착 공간 하부 등에 파우더가 쌓이는 것을 방지할 수 있어 증착 효율성이 개선된다. 회사 측은 "제품 경쟁력 강화를 위해 특허를 활용할 계획"이라고 밝혔다.

 

강명연 기자 [e-mail]