테스, 반도체 장비 적용 기판처리시스템 관련 특허 취득

[뉴스토마토 고경록기자] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 기판처리시스템과 관련 특허권을 취득했다고 16일 공시했다. 

 

고경록 기자 [e-mail]