에스엔유, 패턴의 결함 검사 방법 관련 특허권 취득

[뉴스토마토 고경록기자] 에스엔유(080000)는 패턴의 결함 검사 방법에 관한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.

 

에스엔유는 "해당 특허는 대면적화된 기판에 형성된 패턴에서 형성된 결함의 존재 여부 및 결함의 위치를 용이하게 검사할 수 있는 패턴의 결함 검사 방법에 관한 것"이라고 설명했다.

 

고경록 기자 [e-mail]