테스, '유기금속화학기상증착장치' 특허 취득

[뉴스토마토 박기영기자] 테스(095610)는 14일 '유기금속화학기상증착장치' 특허를 취득했다고 공시했다.

 

회사는 "공정수행 시 챔버 내부의 오염을 최소화하여 수율(Yield)향상에 기여하고 세정을 용이하게 할 수 있다"고 설명했다.

 

박기영 기자 [e-mail]