에스엔유, 기판 결함 발생 빈도 최소화 관련 특허권 취득

[뉴스토마토 이준혁기자] 에스엔유(080000)프리시젼은 '결함 발생 위치 분석 및 결함 발생 회피를 위한 작업 스케줄링 방법' 특허를 취득했다고 27일 공시했다.

 

이 특허는 작업 순서에 따라 챔버에 각각 제공되는 기판의 결함을 검토하고 결함 발생을 판단해 기판의 결함 발생 빈도를 최소화할 수 있는 방법이다.

 

회사 측은 이 특허를 디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획이라고 밝혔다.

 

이준혁 기자 [e-mail]