3S, 웨이퍼 수납용기 관련 특허 취득

[뉴스토마토 임효정기자] 3S(060310)는 웨이퍼 수납용기 및 제조방법에 관한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.

 

이번 특허는 대전방지 특수형 웨이퍼 캐리어(S-FOUP) 등 당사에서 제작하는 웨이퍼 캐리어에 적용할 예정이다.