원익IPS, 박막증착장치 특허권 취득

[뉴스토마토 조아름기자] 원익IPS(030530)는 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.

 

이 특허는 반응공간 내에 다수의 기판을 처리하는 장치에서 서로 다른 가스가 혼합되는 것을 방지하는 복수의 배기구조를 갖는 박막증착장치에 관한 것이다.

 

원익아이피에스는 "반도체 장비의 경쟁력 강화에 이번 특허를 활용하겠다"고 밝혔다.