테스, 비정질 탄소막 형성방법 등 특허 2건 취득

[뉴스토마토 원나래기자] 테스(095610)는 비정질 탄소막의 형성방법에 대한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.

 

이와 함께 플라즈마 건, 이에 사용되는 전극 형성방법 및 이를 포함하는 플라즈마 장치에 대한 특허권도 취득했다.