테스, 플라즈마 처리장치 특허권 취득

[뉴스토마토 박진아기자] 테스(095610)는 플라즈마 발생 전극에 생성되는 플라즈마의 균일성을 향상시키고 균일한 압력을 가해 고른 배기압력을 유지할 수 있는 플라즈마 처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.