테스, 반도체소자 제조방법 특허 취득

[뉴스토마토 김하늬기자] 테스(095610)는 반도체소자 제조방법에 관한 특허를 취득했다고 3일 공시했다.

 

이번 특허는 포토리소그래피에 의해 형성가능한 최소패턴보다 미세한 패턴을 갖는 반도체소자를 제조할수 있는 기술이다.