로보스타, 이송장비 특허권 취득

[뉴스토마토 김영택기자] 로보스타(090360)는 28일 기판을 흡착해 작용 효율을 높이는 이송장비 특허권을 취득했다고 공시했다.

 

이송장비 특허권은 카세트에 담긴 기판을 빠른 시간내에 스테이지로 옮길 수 있고, 크기도 줄여 설치공간을 적게 차지한다고 로보스타는 설명했다.