테스, 기판처리시스템 관련 특허권 취득

[뉴스토마토 임효정기자] 테스(095610)는 기판처리시스템 및 이를 이용한 기판처리방법에 관한 특허권을 취득했다고 23일 공시했다.

 

이번 특허를 통해 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력을 강화한다는 계획이다.