테스, 기판처리장치 특허권 취득

[뉴스토마토 곽보연기자] 테스(095610)는 9일 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

 

테스는 이 특허에 대해 "한 번에 한 쌍의 기판을 처리해 생산성이 향상되고, 한 쌍의 기판으로 가스가 균일하게 공급돼 한 쌍의 기판을 균일한 품질로 처리할 수 있다"고 설명했다.