로체시스템즈, 공정외 웨이퍼 운송용기 관련 특허 취득

[뉴스토마토 임애신기자] 로체시스템즈(071280)는 공정외 웨이퍼 운송용기(FOSB) 오토 로딩 시스템에 대한 특허를 취득했다고 2일 공시했다.

 

회사는 "이 특허로 인해 반도체 웨이퍼를 적재해 수송하는 FOSB로부터 커버를 탈착한 후 이를 메인 스토커의 로딩 위치에 안착시킬 수 있다"고 설명했다.