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로체시스템즈, 기판 가공장치 관련 특허권 취득
입력 : 2013-05-31 오후 1:19:13
[뉴스토마토 박진아기자] 로체시스템즈(071280)는 정전척 및 이를 갖는 기판 가공 장치와 관련한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.
박진아 기자
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