테스, 대면적 기판 처리 장치 특허권 취득

[뉴스토마토 조아름기자] 테스(095610)는 대면적 기판 처리 장치에 대한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.

 

이 장치는 기판의 대면적화에 따른 반응 챔버의 공간적 제약을 제거할 수 있다.

 

테스는 "이번 특허기술 적용으로 신규장비 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.